潔凈室知識培訓潔凈室知識培訓潔凈間基礎知識…………………………………………25潔凈室及潔凈區(qū)潔凈度等級……………………………26潔凈室管理四大原則……………………………………29潔凈室(Clean Room)內的注意事項……………………54目錄潔凈室的用途……………………………………………12潔凈室的用途潔凈室的用途3潔凈室潔凈室CleanroomCleanroom: :空氣懸浮粒子濃度空氣懸浮粒子濃度受控的房間它受控的房間它的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生滯留粒子室內的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生滯留粒子室內其它有關參數(shù)如其它有關參數(shù)如溫度溫度、、濕度濕度、、壓力壓力等按要求進行控制等按要求進行控制——摘自GB50073-2001《潔凈廠房設計規(guī)范》由于半導體工業(yè)所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機物等)，因為這些污染源可以造成元器件性能的劣化及產(chǎn)品成品率和可靠性的降低所以制造集成電路必須在潔凈的環(huán)境中進行，以盡量將污染源和硅片隔離背景背景什么是潔凈室？什么是潔凈室？41,00010,000外大氣層外大氣層大氣層大氣層田園地帶田園地帶街市區(qū)街市區(qū)10,000,0001,000,000100,000工業(yè)地帶工業(yè)地帶微塵粒子數(shù)微塵粒子數(shù)(PC/ft3) ≥0.5(PC/ft3) ≥0.5μμm m各種條件下微塵狀況各種條件下微塵狀況5塵埃粒直徑（單位：塵埃粒直徑（單位：μmμm））0.00010.00010.0010.0010.010.010.10.11.01.01010100100100010001000010000香煙的煙香煙的煙顏料顏料煙煙硅砂硅砂花粉花粉植物孢子植物孢子水泥水泥人的頭發(fā)人的頭發(fā)重工業(yè)發(fā)出的粒子重工業(yè)發(fā)出的粒子病毒病毒細菌細菌化學物質化學物質0.5 0.5 μmμm塵埃粒子直徑的示意圖塵埃粒子直徑的示意圖6252535357 78 82525空氣中漏入空氣中漏入原料中帶入原料中帶入設備運轉產(chǎn)生設備運轉產(chǎn)生生產(chǎn)過程產(chǎn)生生產(chǎn)過程產(chǎn)生人員因素造成人員因素造成——摘自GB50073-2001《潔凈廠房設計規(guī)范》灰塵又是如何產(chǎn)生的呢？灰塵又是如何產(chǎn)生的呢？7熒光燈全部消失的場合。

一般事務室里拍攝的例子一般事務室里拍攝的例子8左邊是穿一般的工作服走路時候發(fā)塵的樣子右邊是穿潔凈服走路時候發(fā)塵的樣子走路時候發(fā)塵樣子對比走路時候發(fā)塵樣子對比9左邊是拍擊一般的工作服時發(fā)塵的樣子右邊是拍擊潔凈服時發(fā)塵的樣子拍擊工作服時產(chǎn)生的塵埃粒子對比拍擊工作服時產(chǎn)生的塵埃粒子對比10作業(yè)人員通過后，塵埃附著在玻璃上的樣子潔凈室內的事例潔凈室內的事例11使用 ParticleEyeDCF 統(tǒng)計浮游粒子數(shù)量浮游粒子浮游粒子12左邊是普通紙，右邊是無塵紙紙張的發(fā)塵對比紙張的發(fā)塵對比13左邊是紙芯膠帶的發(fā)塵的樣子，右邊是PVC手套的發(fā)塵膠帶和手套的發(fā)塵例子膠帶和手套的發(fā)塵例子14左邊是電鉆發(fā)塵的樣子右邊是真空泵發(fā)塵的樣子電動工具的發(fā)塵例子電動工具的發(fā)塵例子15吸塵器各地方排氣泄漏的樣子吸塵器排氣的例子吸塵器排氣的例子16打噴嚏時瞬間發(fā)生的飛沫打噴嚏時從嘴里泄漏飛沫的樣子打噴嚏時從嘴里泄漏飛沫的樣子17從胳膊發(fā)汗條件創(chuàng)造發(fā)汗現(xiàn)象發(fā)汗現(xiàn)象18香煙煙霧的粒子吸煙的例子吸煙的例子19 靜坐時產(chǎn)生的塵粒數(shù)約靜坐時產(chǎn)生的塵粒數(shù)約 10,000 10,000 輕微運動時產(chǎn)生的塵粒數(shù)約輕微運動時產(chǎn)生的塵粒數(shù)約 100,000100,000 劇烈運動時產(chǎn)生的塵粒數(shù)約劇烈運動時產(chǎn)生的塵粒數(shù)約 10,000,000 10,000,000 運動時產(chǎn)生的塵埃粒子數(shù)量運動時產(chǎn)生的塵埃粒子數(shù)量200.0.5 5μm m1 1μm mPre-filterBag-filter95%90~95%99.99%HEPA filterFANFilterHEPA/ULPACR99.99%0.30.3μm m0.0.1 1μm m工作區(qū)域密封條外框過濾器介質波浪型隔離體褶皺狀濾紙外框熱溶膠熱溶膠（多處加工）外框濾紙HEPA HEPA FilterFilter高效過濾器高效過濾器————H High igh E Efficiency fficiency P Particulate articulate A Air Filterir FilterULPA ULPA FilterFilter高效過濾器高效過濾器————U Ultra ltra L Low ow P Penetrationenetration A Air Filterir Filter灰塵是如何去除的呢？灰塵是如何去除的呢？21灰塵是如何去除的呢？灰塵是如何去除的呢？潔凈室的空氣凈化新新風風正壓正壓Relief DamperRelief Damper22手持簡易型激光粒子計數(shù)器手持簡易型激光粒子計數(shù)器 測量空氣中微粒的數(shù)量限于體量和重量，手持式激光粒子計數(shù)器采樣流量一般為每分鐘0.1立方英尺（0.1cfm），即每分鐘2.83升（2.83L/m），其最小粒徑通道一般為0.3μm。

通常均可采用電池或交流電工作這類產(chǎn)品粒徑通道又可分為雙通道型，如美國Met One公司生產(chǎn)的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm兩種標準配置由于這類產(chǎn)品采樣空氣量小，測量精度相對較低，但隨檢測人員移動靈便，適用于各種潔凈室的監(jiān)測，判定過濾設備的效率和密封性這類產(chǎn)品可存儲一定量的采樣數(shù)據(jù)，備有下載軟件，均不帶打印裝置23高效過濾器高效過濾器高效過濾器撿漏卸下HEPA的散流板，對整個濾器面、濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進行掃描掃描時采樣頭距濾器面約1英寸（約2.54cm），掃描速度不超過5cm/s掃描按直線來回往復地進行，線條間應重疊檢測過程中，若有報警聲 （即%LEAKAGE（泄漏率）超過0.01%），表明有泄漏泄漏處經(jīng)用硅膠堵漏或緊固以后再進行掃描巡檢檢查一個過濾器約為5min 左右，在測試的過程中，應經(jīng)常確認上游氣溶膠的濃度，注意在檢測過程中應帶防護面罩和防護眼罩24風量罩風量罩測量送風風速風量罩主要由三個部分構成:風量罩體、基座、PDA構成.風量罩體主要用于采集風量,將風匯集至基礎上的風速均勻器上.在風速均勻器上裝有熱式傳感器,熱式傳感器將風速的變化,再根據(jù)基底的尺寸將風量計算出來.風量罩的顯示采用PDA,大屏幕液晶屏顯示直觀,直接可以得到風速和風量的數(shù)據(jù).操作簡單,可以設置記錄時間間隔進行連續(xù)的參數(shù)記錄,以便對數(shù)據(jù)進行分析.測量和記錄的數(shù)據(jù)被記錄在存儲卡上,不會丟失,可以通過計算機的串口將數(shù)據(jù)傳遞到PC機上以及做進一步的應用. 風罩的測量技術要求項目項目技術要求技術要求測量限值/范圍流量50 –3500 m3/hra誤差讀數(shù)的 ? 5 %反應時間90 % 滿標度時不到10 s校準間隔最多12個月注：a—測量限值和分辯率取決于所用風罩的尺寸。

25壓差測定儀表壓差測定儀表壓差檢測 普通潔凈室不同級別逐級之間、潔凈室與非潔凈區(qū)之間的微壓差一般為5～10Pa，某些生物潔凈室為防止有害物或病毒向外擴散，其進入通路的各個房間之間的負壓差需要維持-10～-30Pa根據(jù)國家標準GB19489-2004“實驗室、生物安全通用要求”的規(guī)定：相對于大氣壓污染區(qū)為-40Pa，根據(jù)國家標準GB50346-2004“生物安全實驗室建筑技術規(guī)范”的規(guī)定：與室外方向上相鄰相通房間的最小負壓差為-10Pa在各級空氣過濾器處，應配置微壓差計并與過濾器前后的靜壓引出管相連，以便隨時監(jiān)測氣流通過空氣過濾器的壓力降有些微壓差計還備有可調節(jié)壓差設定的報警標定值，以便超過規(guī)定壓差時輸出報警信號 26溫濕度計溫濕度計測量溫濕度電子溫濕度計因其方便、可靠、便于距離測量等優(yōu)點，在潔凈室檢測、監(jiān)測中廣泛使用常見的有電容式和電阻式傳感器，輔以相應電學儀器，即可測定空氣的相對濕度電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結而成的多孔狀陶瓷體，或高氯酸鋰—聚氯乙烯等高分子材料制成它們都是利用了在不同濕空氣中，由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長，工作穩(wěn)定性好，使用較普遍。

電容式傳感器電容式濕度傳感器基本上是一個電容器，在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發(fā)膜，水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放，隨著水分子的吸附與釋放，高分子薄膜的介電系數(shù)將發(fā)生相應變化因為介電系數(shù)隨空氣中的相對濕度變化而變化，因此，只要測定其電容值即可得到被測空氣的相對濕度27照明照明u淚滴型照明燈具u嵌入式照明燈具28照度計照度計照度測試照度測試宜采用便攜式數(shù)字照度計 潔凈室（區(qū)）照度的檢測應在室內溫度穩(wěn)定和光源光輸出穩(wěn)定的狀態(tài)后進行；對新熒光燈區(qū)應使用100h以上，并在點燃15min后進行測試 照度測試點應選擇在工作面高度進行，一般宜為0.85m，通道測試高度宜為0.2m；測試點數(shù)量可按每50㎡潔凈室（區(qū)）面積一個點計算，但每個房間不得少于1點29靜電檢測儀靜電檢測儀測量靜電該類測試儀表不直接與帶電體接觸，而是運用靜電感應的原理，間接測試帶電體的靜電電位由于這種測試不是直接同帶電體相接觸，因此也稱非接觸式測量靜電感應原理：是將測試探頭靠近帶電體，利用探頭與被測帶電體之間產(chǎn)生的畸變電場測試帶電體的表面電位人體靜電檢測儀靜電檢測儀靜電檢測儀30靜電控制靜電控制Man ( 人 )手腕帶 ，ESD鞋，ESD椅子,衣服 … Machine( 機 )接地，控制靜電電流消除 / 屏蔽 電磁干擾和交流電場Material ( 材料 )使用導體材料盡量使用靜電消耗材料使用 ESD地板，ESD桌墊不用或盡量少用絕緣材料Method ( 方法 )預防（創(chuàng)建ESD安全的環(huán)境）保護（保護對ESD敏感的產(chǎn)品或零部件，避免金屬小 電阻接觸 ）屏蔽（對非ESD安全的物品進行法拉第或距離屏蔽 ）消除（通過接地，離子化消除產(chǎn)生的靜電）Environment( 環(huán)境 )溫度 / 濕度控制局部使用離子風機員工 ESD培訓管理ESD 控制 = Man (人)+ Machine (機) + Material (料)+ Method(法)+ Environment(環(huán))31風淋室（風淋室（AirshowerAirshower）） 風淋室風淋室(Air Shower)(Air Shower)設于無塵室入口處，具有以下功能：設于無塵室入口處，具有以下功能：u人員管制uAIR LOCK 氣鎖功能，防止交叉污染u風速20-25m/s吹落塵埃帶走功能，用以吹除人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃。

注：正確使用風淋室，能夠減少帶入室內的灰塵正確聽從風淋室播音員的指示進行操作，夠去除95%的1μ以上的灰塵32傳遞箱傳遞箱 (PASS BOX) (PASS BOX) 置于潔凈室隔間墻上之裝置功能：置于潔凈室隔間墻上之裝置功能：u做為潔凈室內外物品傳遞之緩沖區(qū)，其可防止于傳遞物品時由于門的開啟而破壞了潔凈 室氣流與室壓u可減少作業(yè)人員走動的時間而防止外區(qū)塵埃的進入u進出口具有不可同時開啟的聯(lián)鎖控制，以達到防止交叉污染 33空空空空氣氣氣氣潔凈潔凈潔凈潔凈度等度等度等度等級級級級大于或等于表中粒大于或等于表中粒大于或等于表中粒大于或等于表中粒徑徑徑徑的最大的最大的最大的最大濃濃濃濃度限度限度限度限值值值值（（（（pcs/m3)pcs/m3)pcs/m3)pcs/m3)0.1um0.1um0.1um0.1um0.2um0.2um0.2um0.2um0.3um0.3um0.3um0.3um0.5um0.5um0.5um0.5um1um1um1um1um5um5um5um5um110221002410431000237102358410,0002,3701,020352835100,00023,70010,2003,5208322961000,000237,000102,00035,2008,3202937352,00083,2002,93083,520,000832,00029,300935,200,0008,320,000293,000國家標準 GB 50073-2001潔凈室及潔凈區(qū)潔凈度等級潔凈室及潔凈區(qū)潔凈度等級34潔凈室的管理潔凈室的管理4 4大原則大原則不讓不讓灰塵灰塵產(chǎn)生產(chǎn)生①①過濾器本身及外框無漏風過濾器本身及外框無漏風②②潔凈室需保持一定的正壓潔凈室需保持一定的正壓③③作業(yè)人員需穿潔凈服并經(jīng)風淋作業(yè)人員需穿潔凈服并經(jīng)風淋④④帶入的工具、材料等必須擦洗帶入的工具、材料等必須擦洗干凈干凈不將不將灰塵灰塵帶入帶入迅速迅速排除排除灰塵灰塵不讓不讓灰塵灰塵堆積堆積①①清掃作業(yè)不留死角，特別是清掃作業(yè)不留死角，特別是不易清掃的角落和設備周圍不易清掃的角落和設備周圍②②盡量減少風管、配管暴露于盡量減少風管、配管暴露于潔凈室內潔凈室內③③實施標準化的清掃作業(yè)實施標準化的清掃作業(yè)①①正確穿著潔凈服正確穿著潔凈服②②不使用容易發(fā)塵的物品及材料不使用容易發(fā)塵的物品及材料③③減少不必要的人員走動減少不必要的人員走動④④不用的物品嚴禁帶入不用的物品嚴禁帶入①①增大換氣次數(shù)增大換氣次數(shù)②②設備發(fā)塵部位應有排氣設備發(fā)塵部位應有排氣③③室內的氣流形式應使得灰塵室內的氣流形式應使得灰塵難以在產(chǎn)品上附著難以在產(chǎn)品上附著35不將灰塵帶入不將灰塵帶入過濾器本身及外框無漏風過濾器本身及外框無漏風過濾器本身及外框無漏風過濾器本身及外框無漏風穿潔凈服經(jīng)過風淋室穿潔凈服經(jīng)過風淋室?guī)氲墓ぞ?、材料等必須擦洗干凈帶入的工具、材料等必須擦洗干?6防止作業(yè)服和皮膚的發(fā)塵防止作業(yè)服和皮膚的發(fā)塵不讓灰塵產(chǎn)生不讓灰塵產(chǎn)生正確穿著潔凈服打卡進潔凈室打卡進潔凈室脫鞋并存放柜子里脫鞋并存放柜子里從消毒鞋柜里取長筒靴從消毒鞋柜里取長筒靴穿連體潔凈服穿連體潔凈服戴無塵帽戴無塵帽戴口罩戴口罩穿長筒靴穿長筒靴戴手套戴手套確認著裝狀態(tài)確認著裝狀態(tài)取出潔凈服、口罩取出潔凈服、口罩防止頭發(fā)和膚屑的掉落防止頭發(fā)和膚屑的掉落防止口中散發(fā)細菌防止口中散發(fā)細菌防止作業(yè)服的下擺發(fā)塵防止作業(yè)服的下擺發(fā)塵普通作業(yè)服放進更衣柜普通作業(yè)服放進更衣柜著裝完畢著裝完畢防止靜電和膚屑產(chǎn)生防止靜電和膚屑產(chǎn)生確認作業(yè)服是否整潔，有無確認作業(yè)服是否整潔，有無塵物，頭發(fā)是否外漏，口罩塵物，頭發(fā)是否外漏，口罩穿戴是否正確等穿戴是否正確等37不讓灰塵產(chǎn)生不讓灰塵產(chǎn)生uu正確使用風淋室之進入潔凈室正確使用風淋室之進入潔凈室去除鞋底灰塵和異物去除鞋底灰塵和異物風淋動作結束后走出風淋室風淋動作結束后走出風淋室消除胳膊異物，轉一圈消除胳膊異物，轉一圈( (風淋風淋1515秒秒/ /次次) )進入風淋室進入風淋室2 2名以上不能同時入風淋室名以上不能同時入風淋室禁止觸碰感應器，躲避風淋禁止觸碰感應器，躲避風淋禁止掰動風淋口禁止掰動風淋口禁止推玻璃，開風淋室門禁止推玻璃，開風淋室門uu使用風淋室注意事項使用風淋室注意事項38不讓灰塵產(chǎn)生不讓灰塵產(chǎn)生uu正確使用風淋室之走出潔凈室流程正確使用風淋室之走出潔凈室流程等待風淋室門自動關閉等待風淋室門自動關閉走出風淋室走出風淋室進入風淋室進入風淋室39照相機照相機手機手機木木棧板板+紙箱箱食品食品個人物品個人物品香煙香煙+打火機打火機化化妝品品保保麗龍物品物品白板筆白板筆+白板擦白板擦未清未清潔物品及工具物品及工具潔凈室禁止攜帶物品舉例潔凈室禁止攜帶物品舉例*潔凈室禁止帶入易發(fā)塵物品、數(shù)碼產(chǎn)品、食品、個人物品、不使用物品、未清潔物品及工具等40無無塵打印打印紙防靜防靜電圓珠筆珠筆美工刀美工刀防靜防靜電椅椅溫濕度溫濕度計手持式粉手持式粉塵檢測儀防靜防靜電手套手套靜靜電防防塵口罩口罩耐高溫膠耐高溫膠帶除靜除靜電繩潔凈室專用物品舉例潔凈室專用物品舉例*潔凈室必須使用專用物品41以以ＡＡ??ＢＢ??ＣＣ??ＤＤ??ＥＥ的順序的順序、、從上往下進行清掃從上往下進行清掃。

清掃區(qū)域要點圖不讓灰塵堆積不讓灰塵堆積- -潔凈室潔凈室 (Clean Room)(Clean Room)的清掃的清掃A A ：樓承板及天花板上梁清掃：：樓承板及天花板上梁清掃：1.用無塵布清理灰塵2.用純水無塵布清掃房梁、吊頂螺栓 手夠不到的地方用拖把用純水擦拭一次以上 要點　將裝有純水的水桶帶到天花板內、用無塵布沾濕后絞干擦洗，在梁上不要殘留下痕跡 B B：樓承板及天花板上設備機器清掃：樓承板及天花板上設備機器清掃1. 保護膜全部撕掉、用無塵布清理掉積塵2.用純水無塵布清掃配管、管路、線纜橋架等手夠不到的地方用拖把用純水至少擦拭一次以上要點　將裝有純水的水桶帶到天花板內、用無塵布沾濕后絞干擦洗 在配管等上面不要殘留下痕跡C C：樓承板及天花板清掃：樓承板及天花板清掃1.收拾垃圾、用拖把拖?樓承板及天花板上用純水擦拭將裝有純水的水桶帶到天花板內、用無塵布沾濕后絞干擦洗 在天花板上面不要殘留下痕跡D D：樓承板及天花板下設備機器清掃：樓承板及天花板下設備機器清掃1.保護膜全部去除、有電氣機器接觸的部分用干無塵布擦拭其他配管、管路、橋架等用純水擦拭清掃E E：地板清掃：地板清掃1.操作順序是先撕掉保護膜?收拾垃圾?用清掃機收拾垃圾、用無塵拖把清潔?用純水擦拭來進行地板清掃(強力的污漬用噴霧劑對應)?干燥2.柱子?閥門用水擦拭、墻壁的鋁蜂巢板用擦拭的方法進行清潔。

生產(chǎn)盤由設置的業(yè)者負責任的進行干擦拭清掃(柱子的話事前能夠清掃的地方進行清掃注意　務必將作業(yè)區(qū)域跟清掃區(qū)域區(qū)分開來42清潔設備清潔設備清潔棚頂設施清潔棚頂設施清潔墻壁清潔墻壁清潔地面清潔地面④④④④③③③③②②②②①①①①不讓灰塵堆積不讓灰塵堆積- -潔凈室潔凈室 (Clean Room)(Clean Room)清掃事例清掃事例①從上往下清潔 ②從里往外清潔 ③朝一個方向清潔43粘粘塵地地墊伸伸縮桿除桿除塵滾除除塵滾輪無無塵室室專用吸用吸塵器器防靜防靜電無無塵拖把拖把工工業(yè)酒精酒精防靜防靜電無無塵抹布抹布橡膠手套橡膠手套耐高溫手套耐高溫手套工工業(yè)冷冷風機機潔凈室清潔工具及清潔產(chǎn)品潔凈室清潔工具及清潔產(chǎn)品*潔凈室必須使用專用清潔工具及清潔產(chǎn)品44迅速排出灰塵迅速排出灰塵Relief DamperRelief Damper正壓測試正壓測試正壓測試正壓測試供風測試供風測試供風測試供風測試HEPA filterHEPA filter回風測試回風測試回風測試回風測試return airreturn air45潔凈室潔凈室(Clean Room)(Clean Room)內的注意事項內的注意事項 1. 潔凈室內禁止跑動，走路時禁止拖防靜電鞋. 2. 禁止閑聊、吵鬧，大聲叫人. 3. 個人用品(手機,手表等) 及食物禁止搬入潔凈室內. 4. 搬入資材及易耗品等生產(chǎn)物品時必須通過風淋合格箱進行洗潔作業(yè)后再搬 入. 5. 化妝或涂指甲油的人禁止出入. 6. 防靜電帽, 防靜電服外露出頭發(fā)，眼眉，一般服裝不正確時立即到更衣室 (Smock Room)點檢著裝之后再次通過風淋室(Air Shower)后入室. 7. 防靜電手套及手指套被破損或受污染時立即更換新的使用. 8. 作業(yè)時Clean Room帽(防靜電帽), 防靜電服及防靜電鞋破損或受污染時 通知組長交換新的使用. 9. 開始作業(yè)時、終了時，休息時間過后要用滾筒架清掃作業(yè)臺及周邊. 10. 作業(yè)臺上禁止放置不必要的什器. 11. 禁止坐著轉動椅子或向后擺動. 12. 禁止靠在裝備、墻，作業(yè)臺等 13. 禁止坐在地板上. 14. 禁止用手套觸摸皮膚. 15. 交換器及電源等電裝置要注意觸電 . 16. 完成作業(yè)之后整理，整頓作業(yè)臺、尺工具及周圍后退室.4647 結結束束語語若有不當之處，請指正，謝謝！若有不當之處，請指正，謝謝！。